| 专利名称 | 基于 CT 扫描图像的 MEMS 结构重构与检测方法 | ||
| 专利号 | ZL201410027156.9 | 授权日期 | 2017-02-15 |
| 专利简介 | 本发明提出了一种基于 CT 扫描图像的 MEMS 结构的三维重构与检测方法，以解决现有检测手段检测环境要求高、不能反应其三维形貌的问题，同时保证了 MEMS 的无损检测。本方法首先采用工业 CT 技术扫描得到 MEMS 器件的系列图像，然后进行图像处理并得到其体数据，根据体数据进行表面模型重建， 得到 MEMS 器件的表面三角网格模型。然后对表面模型进行修复，识别并提取其特征信息将器件模型的不同特征划分为不同的特征块，最后对划分好的特征块进行拟合，提取特征参数并导出数据接口文件。通过以上技术手段，实现了 MEMS 结构的三维尺度结构的准确检测。 | ||
| 联系人 | 联系电话 | 0532-67791666 | |
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